300331加码光刻机

　　9月1日晚间，苏大维格公告，拟筹划以现金方式收购常州维普半导体设备有限公司不超过51%的股权。收购完成后，苏大维格预计实现对标的公司的控股。

　　苏大维格表示，此举意在增强公司在直写光刻领域的研发实力，加快国产替代的进程。

拟以不超5.20亿元收购标的公司

　　苏大维格是国内领先的微纳结构产品制造和技术服务商，公司及子公司深耕高端微纳光学材料及反光材料制品多年，自主研发微纳光学关键制造设备——激光直写光刻机和纳米压印光刻机。

　　根据公告，苏大维格近日与常州维普部分股东蒋开、刘建明、张彦鹏、刘庄、地平线投资签署《股权收购意向协议》，公司拟以现金方式收购常州维普不超过51%股权，并实现对常州维普的控股。标的公司100%股权的整体估值暂定为不超过10亿元（含），本次交易对价预计不超过5.10亿元，标的公司100%股权的估值以及本次交易定价最终以评估报告和正式签署的收购协议为准。

　　根据意向协议约定，本次公司收购股权意向交易对方暂不包括关联方红土一号基金及深创新资本，公司收购股权后将构成与关联方共同投资；后续正式交易中，若红土一号基金及深创新资本参与本次收购交易，本次交易可能构成关联交易。经初步测算，本次交易预计不构成《上市公司重大资产重组管理办法》规定的重大资产重组。

　　财务数据上看，2025年上半年，苏大维格实现营业收入9.82亿元，同比增长5.27%；实现归母净利润3066.17万元，同比下降10.46%；经营活动产生的现金流量净额为6758.99万元。2024年全年，公司实现营业收入18.41亿元，归母净利润-5805万元，经营活动现金净流入2.05亿元。

　　此次交易中乙方承诺，目标公司2025年至2027年三年累计实现扣除非经常性损益后的净利润不低于2.4亿元（含）。

意在加快激光直写光刻机国产替代进程

　　据披露，常州维普是江苏省专精特新“小巨人”企业，主营产品为光掩模缺陷检测设备（收入主要构成）和晶圆缺陷检测设备的研发、生产和销售，两者均属于半导体量检测的核心设备。

　　常州维普是国内极少数在半导体光掩模缺陷检测设备领域已实现规模化量产的企业，其技术、产品和核心算法系正向自研开发，拥有自主知识产权，主要核心零部件实现了国产化和自主可控。标的公司产品已进入国内头部晶圆厂和国内外头部掩膜版厂商的量产线。

　　公开信息显示，光掩模，又称掩模、（光刻）掩膜版，光罩等，是微电子制造过程中图形转移的母版，是半导体、平板显示等行业生产制造的关键核心材料。在光掩模缺陷检测设备领域，设备国产率不足3%，国产替代尚在早期，空间巨大。

　　苏大维格表示，目前，公司在高端智能装备领域，研发、生产和销售各类激光直写光刻机和纳米压印光刻机，其中以激光直写光刻机为主。而激光直写光刻机是用于生产制造光掩模的核心设备之一，国内半导体企业所使用的激光直写光刻机主要为美国应用材料和瑞典迈康尼等美欧企业所垄断，国产化率极低。

　　苏大维格一直致力于积极拓展激光直写光刻机在半导体掩模制造领域的量产应用和国产替代，潜在客户群体和常州维普现有客户体系基本重叠。公司表示，收购常州维普，利用其现有客户资源，有利于大大减少公司的客户开发成本和产品验证周期。

　　此外，激光直写光刻机和掩模缺陷检测设备，在核心部件构成上相似度较高，均主要由光学系统、核心算法、软件系统、精密运动控制平台、电气电控系统等五部分组成。公司在光学系统、精密运动控制平台上有较深的技术积累。常州维普则在核心算法、软件系统、电气电控系统等方面有技术优势和量产经验。本次交易后，双方优势互补，有利于增强公司在直写光刻领域的研发实力，提高产品的迭代速度，提升设备的竞争力，加快国产替代的进程，实现公司的战略目标，同时积极响应国家在集成电路领域的发展规划。

（文章来源：上海证券报）

(原标题：300331，加码光刻机)

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