盛剑科技嘉定半导体制造基地（一期）正式投产

　　3月25日，盛剑科技在上海嘉定工业区举行了国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）投产仪式。上海市嘉定区委常委、常务副区长陆祖芳，上海市经信委半导体产业处处长汪潇，上海市嘉定工业区党工委书记李超，盛剑科技董事长、总经理张伟明及客户代表、产业合作伙伴代表等各方出席投产仪式。

　　在致辞环节，汪潇对盛剑科技的发展成果给予高度肯定和热烈祝贺，并表达了对企业未来发展的殷切期许。李超在致辞中回顾了盛剑科技与嘉定区的紧密合作，并表示嘉定将继续坚定支持公司发展壮大。

　　作为重要的客户代表，北方华创集团副总裁、华丞电子董事长刘利坚在致辞中对盛剑科技的投产表示祝贺，并期待未来深化双方的合作，共谋产业发展。

　　盛剑科技董事长、总经理张伟明表示，感谢各界伙伴的到来和一直以来对盛剑科技的支持。盛剑半导体制造基地落成，意味着盛剑迈入发展新纪元。公司希望继续与嘉定同频共振、与上海同向而行，为半导体产业的高质量发展做出更大贡献。

　　仪式结束后，嘉宾在盛剑科技相关负责人的陪同下，参观了新建成的工厂车间。

　　据介绍，项目规划生产产品包括工艺废气处理设备、真空设备、温控设备等。这些产品共同作用于对半导体制程设备反应腔的辅助控制，可使反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的环境条件，是半导体制程工艺中不可或缺的组成部分。

　　（产品应用场景及关系图）

　　盛剑科技表示，一期项目顺利投产是盛剑产业布局的重要一环，进一步提升了半导体制程附属设备及关键零部件的生产能力、运维能力和产业竞争力，为半导体产业和供应链安全注入了新的活力。未来，盛剑科技将进一步深化在半导体产业链的布局，持续深化自身技术，为中国半导体产业健康发展注入盛剑力量。

（文章来源：上海证券报·中国证券网）

(原标题：盛剑科技嘉定半导体制造基地（一期）正式投产)

(责任编辑：91)