科创半导体设备ETF鹏华涨超5%，碳化硅概念持续活跃

　　半导体设备逆市走强，碳化硅概念持续活跃，消息面上，三星电子已与部分合作伙伴就SiC生产所需新增设备的规模展开讨论。业内人士预测，三星电子将于今年开始建立供应链，预计2027年将建成原型生产试点生产线，并将于2028年开始量产SiC。

　　银河证券指出，武汉市政府于4月29日发布2026年重大项目规划，明确将投入380亿美元用于存储扩产，直接利好国产半导体设备头部厂商；同时，在国内先进制程和存储扩产叠加海外/中国台湾订单外溢背景下，设备板块已突破1月前高并进入高位震荡，显示产业景气度正从预期转向实质订单兑现。

　　截至2026年5月13日 14:28，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨4.86%，成分股天岳先进上涨12.97%，新益昌上涨10.25%，晶升股份，华海诚科等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨5.09%， 冲击3连涨。最新价报1.88元。

　　科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

　　数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。

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